康熙朝另一位大臣赵申乔也曾经指出：
唯横征私派之弊，其祸尤烈！如收解钱粮，私加羡余火耗，解费杂徭，每浮算额数，以致公私一切费用皆取给于里民。若日用之米蔬供应，新任官吏之器具案衣，衙署之兴修盖造，宴会之席面酒肴，上司之铺设供奉，使客之小饭下程，提事之打发差钱，戚友之抽丰供给，节序之贺庆礼仪，衙役之帮贴工食，簿书之纸札心红，水陆之人夫答应，官马之喂养走差，以及保甲牌籍、刊刷邮单、报查灾荒、编审丈量等项，皆有使费陋规，难以详细枚举。总之，无事不私派民间，无项不苛敛百姓，而且用一派十，用十派千，以饱赃官婪蠹之贪腹，嗟嗟小民，膏血有几，而能满足此漏卮巨壑哉！
雍正深知这里面有诸多的弊端，但是朝廷里的所有人一直都在争论这个问题苦于没有一个好的结果。
雍正元年（1723）元旦，雍正谕地方官文告中说：
今钱粮火耗，日渐加增，重者每两加至四五钱，民脂民膏，腹削何堪。至州县差徭，巧立名色，恣其苛派，竭小民衣食之资，供官司奴隶之用。
雍正二年（1724），七月里的一个深夜，忙碌了一天的雍正帝着实有些疲倦了，每当疲倦之时，他便以静坐来恢复精力。静坐之后即感觉精神清爽，他又翻出白天收到的一封奏折来批阅，这篇奏折他已经看过三四遍了，是山西布政使高成龄所上关于整顿地方耗羡的建议的奏折。奏请把山西全省的耗羡全部题解归公，同时发给官吏养廉银，地方各级衙署发给办公费。上个月，山西巡抚诺敏因该省耗羡问题比较严重，已经上了一个请求山西各州县全年所得的耗羡银，统统上交布政司库，一部分用作抵补无着落的亏空，一部分给各官作养廉银的奏折。诺敏、高成龄的奏折当中反映了山西耗羡问题的严重，就全国来说，各省的情形都差不多，这也是他登基以来冥思苦想而理不出头绪的一个大难题。
雍正帝联想到几年前，年羹尧和陕西巡抚噶什图就曾奏请将耗羡酌留，以便各官用度，其余则捐出以弥补亏空。以惩治当时吏治腐败，贪污风气，以此来减少地方官中饱私囊的现象。可是当时康熙父皇不愿担当加赋的恶名，没有批准，还批谕：
朕谓此事大有关系，断不可行。定例私派之罪甚重，火耗一项，特以州县官用度不敷，故于正项之外，量加些微，原是私事。朕曾喻陈瑸云：“加一火耗，似尚可宽容。”陈瑸奏云：“此乃圣恩宽大，但不可明谕许其加添。”朕思其言，深为有理，今陕西参出亏空太多，不得已而为此举。他们虽然是密奏，朕若是批发，竞视为奏准之事。加派之名，朕岂受乎？
故而此事搁置。康熙帝以为地方官吏只是“量加些微”，而不知实际情况是火耗没有一定之规，没有硬性的标准，反而便于吏役大收特收。这是康熙帝失策之处。
雍正帝又想到，雍正元年（1723）五月湖广总督杨宗仁奏称：地方上的公事开销，都是地方官勒派百姓供应，不如令州县官在原有的耗羡银内，节省出二成，交到布政司库房，以充一切公事之费，此外私毫不许再加派捐。雍正帝甚表赞同，果断批道：“所言全是，一无瑕疵，勉之。”耗羡本来是地方官私征私用，杨宗仁让他人拿出一小部分归省里，作为公用，实际上是提出了耗羡部分归公的建议。
现在诺敏的奏章又提出山西省耗羡改革的具体方案：将全省耗羡银约五十万两，悉数上交布政司库，然后从中拨出三十万两作为办公用费以及各官养廉之用。二十万两可作为弥补无着落亏空之用。
诺敏任山西巡抚之前，在户部供职多年，一向被同僚称为对财政“稽核有法”，这笔账还是算得很精的：与其暗中收送陋规钱，何如公开给予养廉银？再以耗羡把多年的亏空补上。诺敏此议真是通权达变，于国计民生均有裨益。想到此，雍正帝感到十分欣慰，高兴地批准其在山西实行。
雍正二年（1724）年初，河南巡抚石文焯上奏又称：该省共有耗羡银四十万两，给全省各官养廉银若干，各项杂用公费若干，下余十五六万两解存藩库，弥补亏空，因此办公费用都出在耗羡内了，不再议捐股民。这也是耗羡提解之法。雍正见此奏折，在朱批中赞赏道：“此奏才见著实，非从前泛泛浮词可比，封疆大吏，原应如此通盘合算，如何抵项，如何补苴，若干作为养廉，若干作为公用，说得通，行得去，人心既服，事亦不误，朕自然批个‘是’字。”
山西与河南率先实行了火耗归公和以养廉银代替陋规的廉政改革。河南将沿旧例收受的全省火耗的十分之一作为巡抚的养廉银。虽然超过了一般巡抚养廉银的一倍，但是雍正帝立即照准，并说：“即使加倍也未尝不可，但此外必须一无染指，方见操守，与其私以取之，何如明以与之，此所谓厚俸以养廉。”因为即使厚俸，比起河南巡抚过去所收受的各项陋规二十万两也少得多了。高官的收入无论多寡，问题的关键在“明以与之”四字。高官的收入透明化公开化，在中国历史上历朝历代都没有过，雍正帝的改革可谓是绝无仅有。山西实行的改革也取得了一定的成效，全省耗羡扣除亏空和养廉银以及各种杂费之外，尚余白银两万七千多两。
雍正二年（1724）七月八日，他下令说所有征收来的附加税要交给国家来支配。他说：“与其州县存火耗以养上司，何如上司提火耗以养州县乎？”意思就是说，本来征收附加税是为了供养上面的官员的，那为什么不换过来让上面来支配附加税养州县的官吏呢？
这个政策一实施，马上就断了那些地方官员半明半暗的财路，而且在一定的程度上还大大地减轻了老百姓们的负担，每个省的附加税率都有所下降，尤其是河南和山西两个省最明显，从原来的百分之八十降到了百分之十三和百分之十八，只是原来的六分之一和四分之一。
河南巡抚田文镜将耗羡归公之前后的情形，曾作了一番比较：“耗羡未归公时，原系各州县所得，各上司因其得有耗羡，于馈送节礼之外，恣意勒索，借名派捐……及至地方一有公务，仍派里甲，小民受累不浅，此耗羡未归公之情弊也。自耗羡归公之后，各上司俱得有足用养廉银，不敢向州县勒索派捐。各州县亦俱得有足用养廉银，反得实在归己，日用即足，又不至亏动正项钱粮仓谷。至于一切公事……既不取捐于官，又不派及于民，数年以来民间竟不知有派款一事。上下各足，彼此相安，此耗羡归公之成效也。”刑部侍郎钱陈群也说：“当时初定耗羡，依从前州县自征之数，有减无增，奉行以来，吏治肃清，人民安业。”
山西、河南、山东等省的财政亏空几年内即已补完，并有七十多万两耗羡银的盈余。
户部库存银在康熙末年只有八百余万两，雍正年间已增至六干余万两。魏源在谈到雍正朝财政好转的原因时说：“康熙六十载之休养生息，何以户部存银只有八百余万，不及雍正七分之一？其病在于：一、耗羡银未归公也；二、常例银未捐输也；三、盐课未足额也；四、关税无盈余也，全仗雍正十余载清厘整饬之功，故有此收效。”魏源的评价精准而中肯。
再来看看雍正“养廉银”制度的实施情况。
清朝沿用明制，实行职官底薪制，官吏正规的俸禄是非常之少的：官级正一品，年俸一百八十两；官级正二品，年俸一百五十五两；官级正三品，年俸一百三十两；官级正四品，年俸一百零五两；官级正五品，年俸八十两；官级正六品，年俸六十两；官级正七品，年俸四十五两；官级正八品，年俸四十两；官级正九品，年俸三十三两。另有俸米若干石。对于他们来说，这些钱粮实在太少了，既不能养家糊口，也不敷日常费用，连骑马坐轿都不够开销。从这些数据看来，清官于成龙，出远门时常常骑一头毛驴就不足为怪了。
中央大员和地方督抚大吏，往往家中人口众多，日常开支浩繁（所以像于成龙、汤斌一类的清官，在外任职时，总是不带家属或少带家属，不雇佣人或少雇佣人，多用家人办事，以节约开支），一百八十两银子的年俸，有时还不够官吏们一天的开销。不可思议的是，连办公费也要从正印官那少得可怜的年俸里开销，因此他们必然要以种种方式去收钱。而最方便、最有效的方法当然就是以权易钱，借办公事之便，向下级官衙勒索陋规，下级再向下级索求，一直压到县衙一级。为了应付陋规，县官役吏势必向百姓勒索耗羡。
而雍正帝说：实行养廉银制度的好处是“上不误公，下不累民，无偏多偏少之弊，无苛索横征之扰，实在是通权达变之善策”。
就全国是否实行耗羡归公和养廉银制度的问题，雍正帝命六部九卿会议具奏。虽然大家都看到山西的改革是行得通的，然而，这项改革触及他们的切身利益，就不赞成了。收受陋规正是做官的主要工作。现在要耗羡归公，财路就从根本上被截断了，他们当然不同意。大臣们提出种种理由加以反对和阻挠。
九卿奏议发到山西，山西巡抚诺敏感到压力很大。山西布政使高成龄是诺敏推行耗羡归公和养廉银制度的积极支持者，他缮写了长篇奏折上疏朝廷，对九卿奏议，逐条予以驳斥。他首先指出，州县征收火耗，以补官俸之不足。但督抚没有火耗，官俸不敷使用，官吏又不能枵腹办公，必然收取陋规，这笔钱最后还是要出在火耗项上，所以还不如全省征收后，再分给各官养廉银。他又说，耗羡归公，并非要多征火耗，而是要减少火耗。因为既然火耗征收之后尽归省库，州县多征也不归己，就不会多征火耗。针对最后一项指责，他反驳说，督抚收取陋规和贿赂，才是鼓励属员为非。倒不如合理合法地公开收取养廉银，共受皇上的恩赐。他分析了当时耗羡滥征的原因和耗羡归公的益处，并指出：九卿所说貌似公允，光明正大，好像是既不增加百姓负担，又让州县满意，似乎是两面兼顾，其实是徒有虚名，说得好听而已。如果按照他们的意见办事，就只能是维持旧日的弊端，听任地方官吏狂征滥派，既不讲官吏法规，又不顾小民疾苦。
雍正帝阅读了高成龄的条奏之后，大加赞赏，将他的奏折交部臣讨论。并在他的奏折上批道：“总理事务王大臣会同九卿、詹事、科道，平心静气，秉公执政，确议具奏。若怀挟私意，以及任性尚气，淆乱是非者，必有一二获罪之人也。须各出已见，明白指陈利弊，毋稍游移，倘不能划一定议，两议三议皆可。”
皇帝已经表明了支持的态度，然而反对耗羡归公的人却仍不在少数。实行火耗归公和养廉银制度的建议，在朝野引起官僚们普遍的不满。雍正帝不得不痛下决断了。他发出上谕，批评持反对意见的官员们的谬见，分析火耗归公和养廉银制度的必要。他说：“高成龄奏提解火耗一事，朕曾降旨，令尔等平心静气，秉公会议，尔等所议见识浅小，与朕意未合。州县火耗原非应有之项，因通省公费及各官养廉，有不得不取给于此者，然非可以公言也，朕非不愿天下州县丝毫不取给于民，而其势有所不能。且历来火耗，皆在州县，而加派横征，侵蚀国帑，亏空之数，不下数百余万。其因即在于州县征收火耗，分送上司，各上司日用之资，皆取给州县，以致耗羡之外，种种馈送，名目繁多，故州县有所借口而肆其贪婪，上司有所瞻徇而不肯参奏，此从来之积弊所当剔除者也。与其州县存火耗以养上司，何如上司拨火耗以养州县乎？”
州县用火耗养上司，上司就不能不对他们有所纵容瞻徇。州县送陋规给上司，既是逢迎上司，也可以用来挟制上司。如果实行耗羡归公，使州县既不能行陋规于上，又不必滥摊派小民于下，就有利于吏治的澄清了。雍正帝指出：“不能禁止馈遗，必不能秉公察吏，不能秉公察吏，必不能有益于政治民生。”因此，雍正帝不顾中央各级官员的反对，毅然将耗羡归公政策“通行于天下”。
大力推行耗羡归公和养廉银制度的地方官员，以山西巡抚诺敏和河南巡抚田文镜为最好，然而二人在中央皆为“举朝所怨”，在地方则“通省衔恨”成为众矢之的。雍正帝为保证山西的改革能顺利进行，特意将一些抵制改革的山西官员调离山西。浙江省迟至雍正五年尚未制定出具体的养廉银方案，雍正帝又将得力大员李卫调到浙江担任巡抚。李卫到任后立即拟定了一个全省各级官吏养廉银的详细方案上报朝廷，得到了雍正帝的批准。在人事方面安排得当，是保证既定政策的贯彻实施的关键一着。虽然雍正帝执法严厉，但是并非简单鲁莽。他曾说：“治天下唯以用人为根本，其余都是枝节末叶之事。”
耗羡归公以后，低薪制改成了高薪制，所谓“厚俸以养廉”。这笔财政经费则由耗羡银中支付。各省大小官员的养廉银数额按照官职高低，事务繁简，地方不同和耗羡多少等标准，逐渐确定下来。大致如下：总督两万两左右，巡抚一万五千两左右，布政使一万两左右，按察使八干两左右，道府五千两左右，州县一二千两。
养廉银的用途，既是给予官员赡养家口，也是给官员延请幕客、犒赏下级和公干盘缠之用。“增事则增养廉，事毕则停养廉”，对于有功劳者也特别多给。比如立有首倡之功的山西巡抚诺敏，他每年的养廉银数额高达三万一千七百两，比原薪俸高出两百多倍。河南巡抚田文镜的养廉银数额也高达两万八干九两，后来他晋升为河东总督，雍正帝又要给他增加一万两养廉银，他坚辞未受。田文镜说：“人臣食禄当因事，事繁而禄少则不给，事简而禄多则虚縻。”
中央官员的养廉银，施行的时间则晚于地方官，其数目也大大少于地方官。陋规照行不误。对此，雍正帝又下谕重申禁令：
从前题奏事件，俱有部费，朕屡次降旨严禁，今闻仍蹈前辙，凡事不讲部费，不能结案。各衙门书吏势难枵腹办公，酌量稍给纸笔饭钱，于理亦无违碍，何得部费至于盈千累万，以遂小人无厌之求？……此事殊可痛恨，嗣后著永行禁止，若再经朕查出，送者与受者双方一体治罪。
雍正帝执法严峻，不能容忍官吏借陋规以蠹国害民。雍正一朝，由于雍正帝雷厉风行地推行养廉银制度，将官场中漫无限制的陋规，转变为制度化的合法收入，官署的办公经费有了着落，官吏搜刮百姓的事情有所减少，吏治大为澄清。
雍正不仅是以养廉银来解决官员们的日常开销，而且常常以赏赐来鼓励官员廉洁守法。他多次赏赐大学士张廷玉，动辄以万计。有一次，雍正帝又当庭奖赏张廷玉万两白银，张廷玉恳切推辞，说：“叩谢皇恩，臣衣食既不求奢华，所费无多，所得年俸及养廉银已足敷日用。”雍正帝说：“你的父亲（张英）以清白传家，你严守家训屏绝馈遗，朕不忍令你以家事萦心也。”张廷玉接受赏赐以后，以赐金修一花园，并将花园命名为“赐金园”。像张廷玉这样的一品大员能如此谨身节欲，实在难得。
鄂尔泰也是一位儆惕自谦的一品大员，也曾拒绝皇上为他增加养廉银。
雍正六年（1728），雍正帝又发出上谕：“朕因国家政事，资借大臣之力，而使之分心家计，朕心不忍，五部大臣内，除差往外省署事之人外，俸银、俸米着加倍给与。”
